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標尺光柵精度檢測儀

時間:2026-04-03    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本實用新型是一種標尺光柵精度檢測儀,涉及光 柵數(shù)顯技術(shù)領(lǐng)域,其特征在于采用兩根具有相同柵距 的標尺光柵面-面對置組合成對,通過光電探測器相 對于標尺光柵對作X、Y向移動,測量其莫爾條紋圖 象的光強變化,經(jīng)數(shù)字顯示儀輸出數(shù)據(jù),再經(jīng)數(shù)據(jù)處 理得到每根標尺光柵的刻線誤差。本實用新型具有 測量精度高、其測量準確度不受被測標尺光柵精度的 限制,重復(fù)性好、成本低、實用性強、便于操作使用等 優(yōu)點。 來源:百度搜索馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 【專利類型】實用新型 【申請人】中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】610209四川省成都市雙流350信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】成都市 【申請人區(qū)縣】雙流區(qū) 【申請?zhí)枴緾N91214207.3 【申請日】1991-03-06 【申請年份】1991 【公開公告號】CN2084604U 【公開公告日】1991-09-11 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2084604U 【授權(quán)公告日】1991-09-11 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】G01B11/02 【發(fā)明人】王集交; 李永德; 郝永杰 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種包括光電探測器和數(shù)字顯示儀的標尺光柵精度檢測儀,其特征在于兩根具有相同柵距的標尺光柵面一面對置組合成對,光電探測器中的發(fā)光和接收元件對應(yīng)分跨在標尺光柵對的兩側(cè),通過探測器相對于標尺光柵對作X、Y向移動測量其莫爾條紋圖象的光強變化,數(shù)字顯示儀顯示輸出,經(jīng)數(shù)據(jù)處理得出每標根尺光柵的刻線誤差。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】四川省成都市雙流350信箱 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000450811820A 【被引證次數(shù)】5.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】5.0

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