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大電流多弧斑受控真空電弧蒸發(fā)源

時(shí)間:2026-04-03    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明屬于薄膜沉積設(shè)備,是真空電弧離子鍍膜 機(jī)的核心部件。采用電磁線圈磁場(chǎng)控制電弧弧斑在 陰極表面上的運(yùn)動(dòng)軌跡和速度,顯著減少了蒸發(fā)源發(fā) 射的金屬液滴,提高了鍍膜質(zhì)量。蒸發(fā)源在200A以 上的大電弧電流和與之相匹配的磁場(chǎng)下工作時(shí),電弧 弧根可分裂為幾個(gè)小的弧斑,在幾乎整個(gè)陰極表面上 作多軌跡旋轉(zhuǎn),使陰極表面燒蝕均勻,鍍膜沉積速率 提高2-3倍。采用環(huán)形陰極蒸發(fā)源,因橫向磁場(chǎng)的 增加,使弧斑旋轉(zhuǎn)速度更高,能基本消除蒸發(fā)源發(fā)射 的金屬液滴,陰極材料利用率更高。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院電工研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】100080北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條6號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N91103541.9 【申請(qǐng)日】1991-06-01 【申請(qǐng)年份】1991 【公開公告號(hào)】CN1055774A 【公開公告日】1991-10-30 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1029568C 【授權(quán)公告日】1995-08-23 【授權(quán)公告年份】1995.0 【IPC分類號(hào)】C23C14/32 【發(fā)明人】吳振華; 黃經(jīng)筒; 游本章; 任俠 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種大電流多弧斑受控真空電弧蒸發(fā)源,由主弧電源,陰極和含電磁線圈的磁路結(jié)構(gòu)組成,其特征在于,主電弧電源為能使弧根分裂為幾個(gè)整個(gè)陰極表面作多軌跡旋轉(zhuǎn)的小弧斑的大電流電源;電磁線圈為可在陰極表面上產(chǎn)生使弧斑在陰極表面上快速旋轉(zhuǎn)的橫向磁場(chǎng)分量和使弧斑向陰極表面中心聚焦的縱向磁場(chǎng)分量的可調(diào)電流的電磁線圈;含電磁線圈的磁路結(jié)構(gòu)由線圈(11)和由導(dǎo)磁材料制成的導(dǎo)磁導(dǎo)電桿(21)、導(dǎo)磁筒(20)、陰極座法蘭(17)、陰極筒體(12)、可拆卸陰極法蘭(10)、陰極壓板(9)、下導(dǎo)磁環(huán)(6b)或(6d)、上導(dǎo)磁環(huán)(6a)或(6c)以及陰極(3)組成,繞制在線圈骨架(5)上的線圈(11)套在導(dǎo)磁筒(20)外周,上端放在水密封蓋(4)位于陰極極筒體(12)內(nèi)部,陰極筒體(12)下端面和陰極座法蘭(17)相接,上端放有陰極(3),陰極座法蘭(17)內(nèi)部設(shè)有以防法蘭過熱并保護(hù)密封圈不因過熱而變質(zhì)并和陰極筒體(12)中的兩個(gè)通水孔(27)相通的水冷空腔(28),底部開有和端面垂直的盲孔,盲孔中裝有和水冷空腔(28)相通的冷卻水管(26),由導(dǎo)磁或非導(dǎo)磁材料制成的對(duì)陰極(3)絕緣的屏蔽(7)點(diǎn)焊在上導(dǎo)磁環(huán)(6a)或(6c)上,并由3個(gè)屏蔽極支撐螺桿(13)固定在主支撐桿(14)上,主支撐桿(14)由螺釘固定在位于陰極座法蘭(17)上端面的絕緣密封法蘭板(16)上,帶內(nèi)螺紋的下導(dǎo)磁環(huán)(6b)和帶外螺紋的上導(dǎo)磁環(huán)(6a)螺紋連結(jié),陰極(3)經(jīng)過燒蝕變短后,調(diào)節(jié)屏蔽支撐(13)和下導(dǎo)磁環(huán)(6b)或(6d)可調(diào)節(jié)屏蔽(7)和陰極(3)的相對(duì)位置,高溫絕緣屏蔽環(huán)(2)鑲嵌在上導(dǎo)磁環(huán)(6a)內(nèi),點(diǎn)弧極(1)由緊固螺釘固定在點(diǎn)弧極支撐桿(8)上,點(diǎn)弧極支撐桿(8)可直接固定在電磁鐵或氣動(dòng)元件(圖中未標(biāo)出)的活動(dòng)部位上,導(dǎo)磁筒(20)的內(nèi)孔和陰極座法蘭(17)的內(nèi)孔中套有導(dǎo)磁導(dǎo)電桿(21),并用螺母將導(dǎo)磁筒(20)、線圈(11)、水密封蓋(4)固定在陰極座法蘭(17)上的陰極筒體(12)內(nèi),同時(shí),還將墊圈(22)、密封圈(23)、導(dǎo)電片(24)固定在導(dǎo)磁導(dǎo)電桿(21)的下端。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院電工研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條6號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】121000004000124147 【引證次數(shù)】4.0 【被引證次數(shù)】20.0 【他引次數(shù)】4.0 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】19.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】21.0

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