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雙直流等離子體化學(xué)氣相沉積裝置

時(shí)間:2026-04-02    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明為一種雙直流等離子體化學(xué)氣相沉積裝 置,在現(xiàn)有直流等離子體化學(xué)氣相沉積的基礎(chǔ)上,增 設(shè)一套對工件加熱的電極,使鍍膜時(shí),工件的溫度參 數(shù)擺脫了其它參數(shù)的限制,實(shí)現(xiàn)了各參數(shù)的獨(dú)立控 制,從而使不同形狀、不同體積的工件均能得到均勻 的加熱溫度,避免了膜層脫落,污染和出現(xiàn)針孔等現(xiàn) 象,使膜層的性能得到改善,同時(shí)使工作電壓能夠始 終保持在輝光放電階段,不會(huì)由于產(chǎn)生弧光而使膜層 形成熔斑,鍍膜參數(shù)的調(diào)整和確定也得到簡化。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】李孟春; 趙乃石 【申請人類型】個(gè)人 【申請人地址】110042遼寧省沈陽市大東區(qū)蓮花街北里一號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】沈陽市 【申請人區(qū)縣】大東區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90105087.3 【申請日】1990-04-07 【申請年份】1990 【公開公告號(hào)】CN1055565A 【公開公告日】1991-10-23 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1032769C 【授權(quán)公告日】1996-09-11 【授權(quán)公告年份】1996.0 【IPC分類號(hào)】C23C16/50 【發(fā)明人】李孟春; 趙乃石; 趙小軍; 王京國 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種雙直流等離子體化學(xué)氣相沉積裝置,它包括真空室、與真空室相聯(lián)的真空系統(tǒng)和充氣系統(tǒng),安裝在真空室內(nèi)并與真空室相絕緣的工件架,工件架接電源負(fù)極,真空室或一獨(dú)立陽極板接電源正極,其特征是真空室內(nèi)工件外圍設(shè)有輔助電極并設(shè)有輔助直流電源。 【當(dāng)前權(quán)利人】李孟春; 趙乃石 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】遼寧省沈陽市大東區(qū)蓮花街北里一號(hào); 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】5.0 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】5.0

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