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釹鐵硼制品除銹及鍍覆有機膜的裝置

時間:2026-03-31    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種用于釹鐵硼制品除銹及鍍覆有機膜的裝置, 特征是設(shè)有充氣器,上極板,下極板,屏蔽板,加熱器, 上極板接射頻功率源,下極板接地。以氫等離子體除 銹,有機硅單體和甲苯混合的氣體產(chǎn)生等離子體在釹 鐵硼制品表面鍍覆有機膜。同現(xiàn)有技術(shù)比較,優(yōu)點是裝置的結(jié)構(gòu)合理,能快 速除銹,同時可以鍍覆膜厚薄均勻結(jié)合牢固的有機 膜,無污染,不影響釹鐵硼制品的尺寸誤差和磁特性, 合格率達(dá)到100%。 【專利類型】實用新型 【申請人】浙江大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】浙江省杭州市玉泉 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】杭州市 【申請人區(qū)縣】西湖區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90208302.3 【申請日】1990-06-05 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2071649U 【公開公告日】1991-02-20 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2071649U 【授權(quán)公告日】1991-02-20 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】C23C16/02; C23C16/48; C23C16/50 【發(fā)明人】梁素珍; 王銳; 陳抗生 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種釹鐵硼制品除銹及鍍覆有機膜的裝置,包括真空系統(tǒng),與射頻功率源相連接的上極板,接地的下極板,屏蔽板,充氣器,加熱器,其特征在于: -上極板31、屏蔽板4以及充氣器2布置在真空室1的上部,下極板及工件6布置在真空室1的下部,上極板31與下極板51間距離為20~30mm; -上極板31呈碟狀,其底部開有若干個通氣孔,上端采用螺釘33固定在與進(jìn)氣管21相連接的電極蓋板32上; -充氣器2由充氣管21、電極蓋板32、噴氣頭22、上極板31以及螺釘33組成,充氣管21布置在真空室1的軸線上,其外部包有絕緣套管23和金屬套管24,電極蓋板32固定在充氣管21的端部,噴氣頭22呈碟狀,其底部和四周開有若干個噴氣孔,上端部固定在電極蓋板32上,底部開有通氣孔的上極板31布置在噴氣頭22的下方,采用螺釘33固定在電極蓋板32上; -屏蔽板4位于電極蓋板32上方,采用螺母25與金屬套管24連接; -兼作工件架的下極板51擱置在由電極支架53支撐的熱屏蔽板52上; -下極板51和熱屏蔽板52之間設(shè)有用于加熱工件6的鹵鎢燈加熱器54。 【當(dāng)前權(quán)利人】浙江大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】浙江省杭州市玉泉 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000470095016Q

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