【摘要】一種硅半導(dǎo)體器件用硅片的缺陷控制工藝。該 工藝是將達(dá)到器件目標(biāo)電阻率的硅單晶先用快中子 流照射，然后進(jìn)行硅片加工，合格的硅片直接送入硅 器件制造的第一道熱工序，在高純氣氛的保護(hù)下，隨 爐升溫到該工序要求的溫度進(jìn)行第一道熱工序，該工
【摘要】 本實(shí)用新型公開了一種繪制橢圓的儀器，在主體 桿上有一固定腳和一活動(dòng)腳。在兩腳上有一連線，使 用時(shí)，把兩腳距離定到長(zhǎng)直徑的位置，再在兩腳的垂 直平分線上，把線拉到短半徑長(zhǎng)度為止，把兩腳固定 點(diǎn)做為橢圓的兩個(gè)定點(diǎn)，沿線的軌跡畫起便是要做的 橢圓。 www.macrodatas.cn 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】尹民生 【申請(qǐng)人類型】個(gè)人 【申請(qǐng)人地址】271000山東省泰安市電鍍廠 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】泰安市 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90210922.7 【申請(qǐng)日】1990-04-28 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN2070680U 【公開公告日】1991-02-06 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2070680U 【授權(quán)公告日】1991-02-06 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】B43L11/04; B43L11/00 【發(fā)明人】尹民生 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種繪制橢圓的儀器，該裝置有一 個(gè)固定桿(15)和一個(gè)固定腳(5)，其特征在 于定有一個(gè)活動(dòng)腳(13)，活動(dòng)腳(13)與 固定腳(5)有一連線(8)連在一起。 【當(dāng)前權(quán)利人】尹民生 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】山東省泰安市電鍍廠
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