【摘要】本發(fā)明所述的軟路面不平度測試儀器屬一種軟 路面測試儀器，其主要特征是：三個裝在測試儀三個 測試輪輪軸上的加速度傳感器，測量測試儀被拖行時 輪軸上的加速度信號，經(jīng)過電荷放大器送入磁帶機(jī)記 錄或送入計算機(jī)，結(jié)合測試系統(tǒng)的動態(tài)傳遞特性，經(jīng)
【摘要】 本發(fā)明是一種動態(tài)光柵刻劃機(jī)的自動調(diào)焦裝置， 涉及對光刻頭結(jié)構(gòu)的改進(jìn)。其特征在于光電探測頭 4固定在光刻頭8上，支架7與光刻頭8之間是彈性 連接，壓電陶瓷驅(qū)動器3通過一固定套6固定在支架 7上，擋塊9固定在光刻頭8的外殼上，并且頂著驅(qū) 動器3的端部。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，首次解決了在光刻 中，因各種誤差引起的離焦問題，在±16.5μm的離焦 范圍內(nèi)，其調(diào)焦精度為3σ≤±0.85μm，擴(kuò)大了光刻 機(jī)的工作范圍，適于刻劃各種形狀或大尺寸的光柵尺 (板)，提高工效5～7倍。 【專利類型】實用新型 【申請人】中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】610209四川省成都市雙流350信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】成都市 【申請人區(qū)縣】雙流區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90214966.0 【申請日】1990-09-28 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2073595U 【公開公告日】1991-03-20 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2073595U 【授權(quán)公告日】1991-03-20 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】G03F7/207 【發(fā)明人】魏相惠; 楊勝豐; 葉寶珠 【主權(quán)項內(nèi)容】1、涉及光刻頭和支架的，一種動態(tài)光柵刻劃機(jī)的自動調(diào)焦裝置，其特征在于：自動調(diào)焦裝置由光電探測頭和信號處理電路以及壓電陶瓷驅(qū)動器組成，其中，光電探測頭固定在與投影物鏡2同一位置的光刻頭8的外殼上，支架7與光刻頭8之間是彈性連接，壓電陶瓷驅(qū)動器3通過一固定套6固定在支架7的上方平直部分的一端，擋塊9固定在光刻頭8的外殼上，并且頂著壓電陶瓷驅(qū)動器3的端部。 馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】四川省成都市雙流350信箱 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000450811820A 【被引證次數(shù)】7.0 【被他引次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】7.0
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