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真空多區(qū)磁控陰極濺射頭

時(shí)間:2026-03-28    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種真空多區(qū)磁控陰極濺射頭,它包含有框、靶 材,磁場(chǎng)密封盒帽蓋,磁場(chǎng)組合體等主要元件。其中, 框的內(nèi)緣,留有凹槽,以套合靶材后,以螺絲固定于磁 場(chǎng)密封盒帽蓋上,而其固定螺絲孔,制成向外開口的 雙凹馬蹄型螺絲槽,以方便于拆換靶材時(shí)的螺孔定位 吊掛??蓪R射頭內(nèi)的磁場(chǎng),排列組合成多區(qū)域,使 其有更多的濺射面積,以充分利用靶材,達(dá)到提高效 益的目的。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】黃恬靜 【申請(qǐng)人類型】個(gè)人 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90209634.6 【申請(qǐng)日】1990-06-29 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN2077869U 【公開公告日】1991-05-29 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2077869U 【授權(quán)公告日】1991-05-29 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】C23C14/35 【發(fā)明人】黃恬靜 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種真空多區(qū)磁控陰極濺射頭,其特征在于:將濺射頭的磁場(chǎng)排列組合成多個(gè)區(qū)域,使用時(shí)可增加其區(qū)域面積,改善其濺射面積,提高靶材使用率至40-45%。。來自:馬 克 團(tuán) 隊(duì) 【當(dāng)前權(quán)利人】黃恬靜 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省 【被引證次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0

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