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多陰極脈沖電弧蒸發(fā)離化源

時間:2026-03-27    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型提供了一種多陰極脈沖電弧蒸發(fā)離 化源,各陰極的供電電源相互獨(dú)立、可調(diào),各陰極間裝 有中間電極,各陰極與中間電極間裝有絕緣陶瓷環(huán), 在真空室內(nèi)裝上這種用不同導(dǎo)電材料制作的同軸多 陰極脈沖電弧蒸發(fā)離化源,可在工件上同時或交替地 鍍復(fù)多種不同金屬或合金,獲得高性能的膜層。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請人】北京長城鈦金技術(shù)聯(lián)合開發(fā)公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】100081北京市北三環(huán)西路65號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90200971.0 【申請日】1990-01-25 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2068969U 【公開公告日】1991-01-09 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2068969U 【授權(quán)公告日】1991-01-09 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】C23C14/30; C23C14/28 【發(fā)明人】王殿儒; 遇衍澄 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種多陰極脈沖電弧蒸發(fā)離化源,由一個中心柱狀陰極2和一個或多個外筒狀陰極6組成,其特征在于:中心柱狀陰極2與外筒狀陰極6分別與脈沖電源1相連,中心柱狀陰極2與外筒狀陰極6由不同導(dǎo)電材料制作,中心柱狀陰極2與外筒狀陰極6之間及各外筒狀陰極6之間裝有筒形中間電極4,中心柱狀陰極2和外筒狀陰極6與中間電極4間裝有內(nèi)陶瓷環(huán)3和外陶瓷環(huán)5,內(nèi)陶瓷環(huán)3和外陶瓷環(huán)5的上沿7表面涂有難熔金屬膜11,上沿7錐形端表面上留有引弧隙10,引弧隙10內(nèi)鍍有簿層金屬膜9,該源所需磁場可用電磁場線圈21產(chǎn)生。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京長城鈦金技術(shù)聯(lián)合開發(fā)公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市北三環(huán)西路65號 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】3.0 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】3.0

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