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采用電磁控陰極電弧源的鍍滲設(shè)備

時(shí)間:2026-03-27    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明是采用電磁控陰極電弧源的鍍滲設(shè)備,屬 于真空鍍膜、離子鍍膜、離子滲金屬領(lǐng)域。其技術(shù)特 征在于控制電磁線圈的排布方式,在放電過(guò)程中不斷 改變線圈電流的方向和大小。在靶面產(chǎn)生的軸向磁 場(chǎng)分量和徑向磁場(chǎng)分量在靶材徑向不斷變化,使場(chǎng)致 發(fā)射式陰極電弧在靶面上均勻放電。陰極弧斑在靶 面上由小圈到大圈周期變化,靶材燒蝕均勻,靶材利 用率高、鍍膜厚度均勻,滲金屬件溫度均勻,有效沉積 速率高。適于鍍滲細(xì)長(zhǎng)工件、板材、厚涂層等。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】北京聯(lián)合大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】100020北京市朝陽(yáng)區(qū)白家莊西里 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】朝陽(yáng)區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90100946.6 【申請(qǐng)日】1990-02-27 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN1054451A 【公開公告日】1991-09-11 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1021062C 【授權(quán)公告日】1993-06-02 【授權(quán)公告年份】1993.0 【IPC分類號(hào)】C23C14/35; C23C14/30; C23C14/28 【發(fā)明人】王福貞; 袁哲; 唐希源; 周友蘇; 張樹林; 程永清 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種采用電磁控場(chǎng)致發(fā)射型陰極電弧的真空蒸鍍,離子鍍、離子滲金屬設(shè)備。由真空室(Ⅰ),抽氣系統(tǒng)(Ⅱ),工件轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(Ⅲ),進(jìn)氣系統(tǒng)(Ⅳ),陰極電弧源(Ⅴ),弧源電源(Ⅵ),偏壓電源(Ⅶ)等主要部件組成。本發(fā)明的技術(shù)特征在于控制電磁線圈的排布方式,在放電過(guò)程中改變電磁線圈中電流大小和方向。使陰極電弧沿全靶面均勻放電、陰極電弧弧斑由小圈到大圈周期變化。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京聯(lián)合大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市朝陽(yáng)區(qū)白家莊西里 【被引證次數(shù)】18.0 【被他引次數(shù)】18.0 【家族被引證次數(shù)】19.0

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