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電容式有機膜濕度傳感器

時間:2026-03-27    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種可用于定量測量和控制濕度的電容式有機 膜濕度傳感器包括有上、下電極,硅片,二氧化硅層, 用聚酰亞胺高分子有機膜作介質(zhì)的感濕膜。特征在 于它采用了硅片本身作為下電極,其上是二氧化硅 層,在此上面是感濕膜,感濕膜上是用金屬鋁層制作 的上電極。該濕度傳感器除具有與現(xiàn)濕度傳感器(如 圖1所示)良好的重復(fù)性、穩(wěn)定性等技術(shù)性能和技術(shù) 參數(shù)外,還具有可靠性高、一致性高、成本低,生產(chǎn)成 品率可達到80%等一系列優(yōu)良的技術(shù)特性。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京工業(yè)大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】100022北京市東郊九龍山 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90224139.7 【申請日】1990-11-27 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2080670U 【公開公告日】1991-07-10 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2080670U 【授權(quán)公告日】1991-07-10 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】G01N27/22 【發(fā)明人】鄒德恕; 王東風(fēng); 高國 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種用于定量測量和控制濕度的電容式有機膜濕度傳感器包括有上、下電極,用聚酰亞胺高分子有機膜作介質(zhì)的感濕膜,二氧化硅層和硅片,本實用新型的特征在于,它是采用硅片本身作為下電極,其上是二氧化硅層,在此之上是用聚酰亞胺高分子有機膜作介質(zhì)的感濕膜,感濕膜上是用金屬鋁層制作的上電極。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京工業(yè)大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市東郊九龍山 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12110000400687411U 【被引證次數(shù)】13.0 【被他引次數(shù)】13.0 【家族被引證次數(shù)】13.0

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