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干法工藝用的大面積均勻可調(diào)永磁磁路結(jié)構(gòu)

時間:2026-03-27    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及千法工藝用的大面積均勻可調(diào)永磁 磁路結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提供一種磁控反應(yīng)離刻蝕機(jī)上施 加磁場的永磁磁路結(jié)構(gòu),該永磁磁路結(jié)構(gòu)設(shè)于反應(yīng)室 內(nèi)直接構(gòu)成磁場,由一對包括許多永磁磁鐵單元的極 板,一個軟鐵回路以及角鐵組成。通過調(diào)整可使硅片 刻蝕區(qū)形成均勻的強(qiáng)度可調(diào)的磁場。本發(fā)明磁路結(jié) 構(gòu)簡單,可降低設(shè)備制造成本,提高精度,提高設(shè)備可 靠性和易操作性。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院微電子中心 【申請人類型】其他 【申請人地址】100010北京市650信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】東城區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90109813.2 【申請日】1990-12-19 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1052571A 【公開公告日】1991-06-26 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1017208B 【授權(quán)公告日】1992-06-24 【授權(quán)公告年份】1992.0 【IPC分類號】H01L21/306; B44C1/22; C03C15/00; C23F1/02; H01L21/02 【發(fā)明人】羅澎; 金鐘元; 韓階平; 馬俊如 【主權(quán)項內(nèi)容】1、大面積均勻可調(diào)永磁磁路結(jié)構(gòu),其特征在于:在反應(yīng)室1內(nèi)的陰極2兩側(cè)設(shè)有多塊成排永磁磁鐵單元5與在該成排永磁磁鐵單元內(nèi)側(cè)所加軟鐵板6組成的極板4,在該極板4外側(cè)設(shè)有由二個軟鐵回路縱長部分71、二個軟鐵回路水平部分72以及四個軟鐵回路斜角部分73組成非正八角形或上部呈圓弧形的軟鐵回路7,在兩塊對立的軟鐵板6二端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有角鐵或由軟鐵棒排成角狀結(jié)構(gòu)8,當(dāng)反應(yīng)室1的直徑為280毫米時,陰極直徑為60~110毫米,極板4長度為140~165毫米,軟鐵回路水平部分72的長度為60~110毫米,體積為10×10×10毫米的永磁磁鐵單元5在每個極板4上為54塊。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院微電子中心 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市650信箱 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0

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