【摘要】一種在汽車駕駛室內(nèi)取暖的方法，其特征是在汽 車發(fā)動機(jī)水箱(1)上的原副水道熱水出口處引出管道 (2)，連接在汽車駕駛室內(nèi)放置的取暖器(3)上。當(dāng)熱 水流經(jīng)取暖器(3)時，汽車駕駛員由于腳踏在取暖器 (3)上，從而達(dá)到取暖的效果。在氣
【摘要】 本發(fā)明公開了一種借助在稀薄氣體的兩個電極 間施加電壓產(chǎn)生輝光放電引發(fā)半導(dǎo)體摻雜的技術(shù)。 它能在實(shí)現(xiàn)高摻雜濃度的同時獲得對淺摻入層的有 效控制，并且具有摻雜均勻、損傷小等效果。該技術(shù) 設(shè)備簡單，操作方便，成本低廉。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院微電子中心; 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請人類型】其他,科研單位 【申請人地址】100010北京市650信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】東城區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90102351.5 【申請日】1990-04-25 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1056017A 【公開公告日】1991-11-06 【公開公告年份】1991 【IPC分類號】H01L21/225; C30B31/02; C30B31/00; H01L21/02 【發(fā)明人】李秀瓊; 王培大; 馬祥彬; 孫惠玲; 王純 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種半導(dǎo)體的摻雜技術(shù)，其特征在于，在不足一個大氣壓的稀薄氣體中設(shè)置兩個電極，將表面附著雜質(zhì)源的半導(dǎo)體置于其中的一個電極上，在兩個電極之間施加電壓使之產(chǎn)生輝光放電，通過調(diào)節(jié)輝光放電的電壓、電流與時間實(shí)現(xiàn)對摻入半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)濃度與深度的控制。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院微電子中心; 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市650信箱; 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0
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