【摘要】一種家用胎兒保健監(jiān)護(hù)器，屬于家庭保健醫(yī)護(hù)儀 器。目前所用的胎兒監(jiān)護(hù)儀存在有放大信號(hào)中噪音 值高、用途單一等不足。本實(shí)用新型采用聲電轉(zhuǎn)換 器、高增益前置運(yùn)算放大器以濾波器、耦合器等器件 通過(guò)使該放大器同向信號(hào)端與上述濾波器串接等巧 妙
【摘要】 本實(shí)用新型涉及干法工藝用的大面積均勻可調(diào) 永磁磁路結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型提供一種磁控反應(yīng)離刻 蝕機(jī)上施加磁場(chǎng)的永磁磁路結(jié)構(gòu)，該永磁磁路結(jié)構(gòu)設(shè) 于反應(yīng)室內(nèi)直接構(gòu)成磁場(chǎng)，由一對(duì)包括許多永磁磁鐵 單元的極板，一個(gè)軟鐵回路以及角鐵組成。通過(guò)調(diào)整 可使硅片刻蝕區(qū)形成均勻的強(qiáng)度可調(diào)的磁場(chǎng)。本實(shí) 用新型磁路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可降低設(shè)備制造成本，提高精 度，提高設(shè)備可靠性和易操作性。。來(lái)源：百度馬 克 數(shù)據(jù)網(wǎng) 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院微電子中心 【申請(qǐng)人類型】其他 【申請(qǐng)人地址】100010北京市650信箱中科院微電子中心三室 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】東城區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90225947.4 【申請(qǐng)日】1990-12-19 【申請(qǐng)年份】1990 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2080233U 【公開(kāi)公告日】1991-07-03 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2080233U 【授權(quán)公告日】1991-07-03 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/306; B44C1/22; H01L21/02 【發(fā)明人】羅澎; 金鐘元; 韓階平; 馬俊如 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、大面積均勻可調(diào)永磁磁路結(jié)構(gòu)，其特征在于：在反應(yīng)室1內(nèi)的陰極2兩側(cè)設(shè)有多塊成排永磁磁鐵單元5與在該成排永磁磁鐵單元內(nèi)側(cè)所加軟鐵板6組成的極板4，在該極板4外側(cè)設(shè)有由二個(gè)軟鐵回路縱長(zhǎng)部分71、二個(gè)軟鐵回路水平部分72以及四個(gè)軟鐵回路斜角部分73組成非正八角形或上部呈圓弧形的軟鐵回路7，在兩塊對(duì)立的軟鐵板6二端內(nèi)側(cè)分別設(shè)有角鐵或由軟鐵棒排成角狀結(jié)構(gòu)8，當(dāng)反應(yīng)室1的直徑為280毫米時(shí)，陰極直徑為60～110毫米，極板4長(zhǎng)度為140～165毫米，軟鐵回路水平部分72的長(zhǎng)度為60～110毫米，體積為10×10×10毫米的永磁磁鐵單元5在每個(gè)極板4上為54塊。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院微電子中心 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市650信箱中科院微電子中心三室 【引證次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】1.0
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