【摘要】熱振再生機是使鑄造車間或其它行業(yè)的舊砂或 廢砂、廢渣粒活化再生的一種機械設(shè)備。呈“之”字形布置的加熱槽，撞擊槽、篩分槽、出砂 槽封閉在鋼制殼體內(nèi)，加熱槽用加熱器加熱，廢砂在 箱內(nèi)經(jīng)熱振表面附著物剝落并得到表面活化。該機 加熱溫度，再
【摘要】 本發(fā)明公開了一種利用側(cè)壁自對準(zhǔn)技術(shù)制造 MESFET的結(jié)構(gòu)，在金屬柵電極與漏區(qū)相鄰一側(cè)的 側(cè)壁絕緣膜厚度大于與源區(qū)相鄰一側(cè)的側(cè)壁絕緣膜 厚度，這樣的非對稱結(jié)構(gòu)能夠提高MESFET的性 能。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院微電子中心 【申請人類型】其他 【申請人地址】100010北京市650信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】東城區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90104646.9 【申請日】1990-07-19 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1049247A 【公開公告日】1991-02-13 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1014755B 【授權(quán)公告日】1991-11-13 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L29/52; H01L29/784; H01L21/283; H01L21/02 【發(fā)明人】劉訓(xùn)春; 王潤梅; 葉甜春; 曹振亞 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種利用金屬柵電極側(cè)壁絕緣膜進行自對準(zhǔn)制造MESFET的結(jié)構(gòu)，其特征在于，金屬柵電極與漏區(qū)相鄰一側(cè)的側(cè)壁絕緣膜厚度大于它與源區(qū)相鄰一側(cè)的側(cè)壁絕緣膜厚度。。微信公眾號馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院微電子中心 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市650信箱 【被引證次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0
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