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冷等離子體表面處理設(shè)備及其處理工藝

時間:2026-03-27    作者:admin 點擊: ( 3 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種利用冷等離子體對材料表面進 行處理的設(shè)備及其處理工藝。其主要特點是采用直 流輝光放電的正柱區(qū)產(chǎn)生冷等離子體,并利用它對材 料表面進行處理。直流輝光放電的陽極和陰極設(shè)在 真空室的兩端,真空室兩端還設(shè)有支撐板,支撐板之 間裝有若干根轉(zhuǎn)軸和一根主動傳動軸。主動傳動軸 帶動被處理材料通過放電區(qū)。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)和工 藝簡單、易于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)、無電磁污染和處理 效果好等優(yōu)點。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】福州大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】350002福建省福州市工業(yè)路西禪寺 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】福州市 【申請?zhí)枴緾N89107909.2 【申請日】1989-10-10 【申請年份】1989 【公開公告號】CN1050885A 【公開公告日】1991-04-24 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1033283C 【授權(quán)公告日】1996-11-13 【授權(quán)公告年份】1996.0 【IPC分類號】C08J5/00; D06M10/00; C03C25/00 【發(fā)明人】林立中 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種冷等離子體表面處理工藝,其特征是采用直流輝光放電的正柱區(qū)產(chǎn)生冷等離子體,并利用它對材料表面進行處理,被處理材料的層面與電場方向平行。 【當前權(quán)利人】福州大學(xué) 【當前專利權(quán)人地址】福建省福州市工業(yè)路西禪寺 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12350000488002092Y 【引證次數(shù)】5.0 【被引證次數(shù)】7.0 【他引次數(shù)】5.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】9.0

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