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控制直拉硅單晶中氮含量的方法

時(shí)間:2026-03-26    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種控制直拉硅單晶中氮含量的方法,用99.99%以上的純氮作為保護(hù)氣體,采用分段控制爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?,特別是熔硅階段的氮?dú)鈮毫?yán)格控制在266~1995Pa范圍內(nèi),獲得硅單晶中氮含量為1.0×1014~7.0×1014/cm3,且保證該硅單晶的成品率達(dá)到80%以上。 百度搜索馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請(qǐng)人】浙江大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】310027浙江省杭州市玉泉 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】杭州市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】西湖區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89105564.9 【申請(qǐng)日】1989-08-10 【申請(qǐng)年份】1989 【公開公告號(hào)】CN1014727B 【公開公告日】1991-11-13 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1014727B 【授權(quán)公告日】1991-11-13 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】C30B29/06; C03B15/02; C30B27/02 【發(fā)明人】李立本; 張錦心; 闕端麟 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種控制直拉硅單晶中含氮量的方法,包括坩堝轉(zhuǎn)速為 6~10轉(zhuǎn)/分,坩堝內(nèi)硅多晶投料量為2~40kg,晶體轉(zhuǎn)速 為12~25轉(zhuǎn)/分,拉速為0.8~2.2毫米/分,晶體直徑2″ ~5″,以99.99%以上的純氮作為保護(hù)氣體,爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?為266~3990Pa,氮?dú)饬髁繛?.2~10m3/hr,制成氮 含量為1.0×1014~7.0×1014/cm3的硅單晶,其特征 在于: ——在熔硅階段,爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?66~1995Pa,流量 為0.2~4m3/hr; ——在拉晶階段,爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?660~3990Pa,流 量為0.8~10m3/hr; ——在拉晶結(jié)束階段,爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?330~1995Pa, 流量為0.6~4m3/hr。 【當(dāng)前權(quán)利人】浙江大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】浙江省杭州市玉泉 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000470095016Q 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】2.0 【自引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】9.0

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