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采用二氧化硅隔離結(jié)構(gòu)的壓力傳感器

時(shí)間:2026-03-26    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型屬半導(dǎo)體壓力傳感器領(lǐng)域。包括硅 芯片、安裝芯片的底板和管座,引出線等,壓阻器件與 硅襯底之間有由多孔硅氧化法獲得的二氧化硅介質(zhì) 層作為隔離層。該隔離層隔離性能優(yōu)良,漏電流甚 微,兩個(gè)分離器件間的擊穿電壓超過200伏,該傳感 器既保持了單晶硅型壓力傳感器的高靈敏度特性,又 可在高溫環(huán)境下工作。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】復(fù)旦大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200433上海市邯鄲路220號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】普陀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89214652.4 【申請(qǐng)日】1989-07-25 【申請(qǐng)年份】1989 【公開公告號(hào)】CN2069171U 【公開公告日】1991-01-09 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2069171U 【授權(quán)公告日】1991-01-09 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】H01L49/00; G01L1/18; G01L9/06 【發(fā)明人】趙甘鳴; 黃宜平; 鮑敏杭 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種硅半導(dǎo)體壓力傳感器,包括硅芯片、安裝芯片的底板與管座、引出線,其特征在于制作在硅芯片上的壓阻器件與硅襯底之間有二氧化硅隔離層,該隔離層寬度為8-50微米,深度為2-5微米。 【當(dāng)前權(quán)利人】復(fù)旦大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市邯鄲路220號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425006117P 【被引證次數(shù)】7.0 【被他引次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】7.0

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    【摘要】一種煤油汽化及燃燒裝置,燃燒裝置的盤架可嵌置于汽化裝置的汽化器本體上,噴油器將汽化油噴入燃燒裝置內(nèi),自集散蓋的油氣逸出孔逸出,經(jīng)點(diǎn)火燃燒后利用盤體回火孔的局部火焰,為安裝在汽化器本體定位槽內(nèi)的汽化油管提供油料汽化所需熱源。本發(fā)明的汽

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26

    【摘要】本發(fā)明提供了一種短臨前兆交變電信息的監(jiān)測(cè)方案,以克服現(xiàn)有技術(shù)抗干擾力差、異常信號(hào)不易識(shí)別、適用范圍有限的缺點(diǎn)。其主要技術(shù)特征在于采用了接收和連續(xù)記錄超低頻交變電信息頻率和場(chǎng)強(qiáng)的方法并為此設(shè)計(jì)了一種超低頻電信息頻率和場(chǎng)強(qiáng)的接收儀,該接

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    【摘要】本發(fā)明涉及到一種新的漢字信息處理系統(tǒng),它包括一種筆形編碼方案及其實(shí)用綜合輸入裝置。本發(fā)明的關(guān)鍵在于選取5-10種基本筆形;并將漢字分為獨(dú)體,二部合體,三部合體結(jié)構(gòu);利用基本筆形對(duì)漢字部件進(jìn)行高低筆畫二維筆形取碼。在以上筆形碼的基礎(chǔ)上

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26

    【摘要】一種包含倒錐形提水葉輪、連接提水葉輪和電機(jī)減速箱浮筒組合的聯(lián)結(jié)器、和均勻地設(shè)置在提水葉輪大端外緣沿水平方向外伸的擊水器的增氧機(jī)。其擊水器的頂部平板不僅高出于提水葉輪大端的頂部邊緣,而且它們之間具有空隙。提水葉輪大端錐形內(nèi)表面均勻地設(shè)

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26

    【摘要】1.請(qǐng)求保護(hù)色彩。 2.省略其它視圖?!緦@愋汀客庥^設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】李浩【申請(qǐng)人類型】個(gè)人【申請(qǐng)人地址】云南省昆明市建設(shè)路6號(hào)【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】昆明市【申請(qǐng)人區(qū)縣】五華區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90300364.3【申請(qǐng)日】19

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26

    【摘要】本實(shí)用新型床具消毒器,由機(jī)架、電氣控制箱、拖 架、防護(hù)罩、上部燈架結(jié)構(gòu)、下部燈架結(jié)構(gòu)六部分組 成,它采用無(wú)臭氧紫外線為光源,在防護(hù)罩保護(hù)下進(jìn) 行消毒,對(duì)其鄰近人、物不受紫外線光源輻射,可縮短 照射時(shí)間,無(wú)殘留毒性,無(wú)損傷,可折疊、推

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26
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