【摘要】一種刀片成型機(jī)，用以將刀片彎制成一定形狀， 其包括有一機(jī)座、一轉(zhuǎn)盤、芯軸、一夾緊裝置和一扳彎 裝置。所述的夾緊裝置包括一設(shè)置在機(jī)體上的滑槽， 一帶有與滑槽相配合的滑動(dòng)座的夾頭連桿以及一與 夾頭連桿螺旋連接以調(diào)節(jié)夾頭與芯軸之間的間距的
【摘要】 本發(fā)明公開了一種用于制造微電子產(chǎn)品的微區(qū)敷膜技術(shù)與裝置，它用微處理機(jī)控制涂敷筆在基片指定的部位按設(shè)計(jì)的圖形和尺寸描繪敷料形成涂敷膜層，這種敷膜技術(shù)與裝置具有操作簡便、成本低廉、膜層均勻等優(yōu)點(diǎn)，此外還能滿足涂敷多品種膜層的需要。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】北京市海淀區(qū)清華東路 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88104273.0 【申請日】1988-07-14 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1013328B 【公開公告日】1991-07-24 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1013328B 【授權(quán)公告日】1991-07-24 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L21/31; G01N27/30; B05D7/00; B05C9/00; H01L21/02 【發(fā)明人】孫安納; 崔莉; 張智宏 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種用于制造微電子產(chǎn)品的微區(qū)敷膜方法， 其特征在于它的步驟包括： ①將敷料灌入涂敷筆內(nèi)， ②將涂敷筆固定在由電機(jī)帶動(dòng)的升降臂上， ③將待敷膜的微電子產(chǎn)品基片固定在由兩個(gè)步 進(jìn)馬達(dá)分別沿X與Y兩軸傳動(dòng)平移的微動(dòng)臺(tái)上， ④向微處理機(jī)輸入敷膜程序， ⑤由微處理機(jī)按照輸入程序通過驅(qū)動(dòng)器啟動(dòng)與 關(guān)閉各個(gè)步進(jìn)馬達(dá)與電機(jī)，控制涂敷筆在基片上進(jìn) 行敷膜。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012385U 【引證次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0
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