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非接觸式激光調(diào)頻光纖位移測(cè)量?jī)x

時(shí)間:2026-03-26    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 3 ) 次

【摘要】 一種非接觸式激光調(diào)頻光纖位移測(cè)量?jī)x,屬于機(jī)械精密測(cè)量領(lǐng)域,特別是屬于對(duì)位移量、振動(dòng)的精密測(cè)量。本發(fā)明采用半導(dǎo)體激光光源,光束經(jīng)鋸齒波調(diào)制,由光纖傳輸,通過(guò)參考光與探測(cè)光的相位比較得到位移量。本發(fā)明體積小、重量輕,線性動(dòng)態(tài)范圍大,可抗電磁干擾和抗振動(dòng),精度達(dá)0.04μm,可用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)測(cè)量,測(cè)量結(jié)果可數(shù)字化處理,便于與計(jì)算機(jī)聯(lián)網(wǎng)。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請(qǐng)人】清華大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N88107425.X 【申請(qǐng)日】1988-11-03 【申請(qǐng)年份】1988 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1013304B 【公開(kāi)公告日】1991-07-24 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1013304B 【授權(quán)公告日】1991-07-24 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】G01B11/02 【發(fā)明人】田芊; 徐左; 李達(dá)成; 謝巍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種非接觸式激光調(diào)頻光纖位移測(cè)量?jī)x由半導(dǎo)體激光器、激光調(diào)頻 電源、耦合透鏡、光纖、光纖定向耦合器、光電探測(cè)器等部件所組成,其特 征在于還包括光纖測(cè)頭,相位檢測(cè)器,由所說(shuō)的激光調(diào)頻電源,對(duì)所說(shuō)的半 導(dǎo)體激光器進(jìn)行調(diào)制,發(fā)出一束調(diào)頻的激光,經(jīng)所說(shuō)的耦合透鏡進(jìn)入光纖, 再由所說(shuō)的光纖定向耦合器分成探測(cè)光和解調(diào)參考光,所說(shuō)的探測(cè)光的一部 分從所說(shuō)的光纖測(cè)頭端面射出,出射光射到被測(cè)物上被測(cè)物上被反射回該測(cè) 頭,所說(shuō)探測(cè)光的另一部分直接從所說(shuō)的光纖測(cè)頭端面反射,這兩部分光形 成于涉,并有一個(gè)被測(cè)距離為1的光程差由所說(shuō)的光電探測(cè)器接收,再送入 相位檢測(cè)器檢測(cè)。 關(guān)注微信公眾號(hào)馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400000624D 【家族被引證次數(shù)】6.0

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