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太陽能電池及硅器件化學(xué)鍍鎳方法

時間:2026-03-25    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 太陽電池及硅器件化學(xué)鍍鎳的方法,本發(fā)明屢半導(dǎo)體工藝。以光刻膠直接作為硅片表面的掩蔽涂層,掩模光刻,帶膠化學(xué)鍍鎳形成斯需的接觸電極取代黑膠掩敷工藝,可一步實現(xiàn)太陽能電池正面柵電池和背電池以及硅器件選擇性電極的制造。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】吉林省長春市斯大林大街109號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】長春市 【申請人區(qū)縣】南關(guān)區(qū) 【申請?zhí)枴緾N87102147.1 【申請日】1987-03-17 【申請年份】1987 【公開公告號】CN1013909B 【公開公告日】1991-09-11 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1013909B 【授權(quán)公告日】1991-09-11 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L21/28; H01L21/308; H01L31/18 【發(fā)明人】何敬文; 劉斌; 劉雅言; 王中紀(jì) 【主權(quán)項內(nèi)容】1.太陽能電池及硅器件化學(xué)鍍鎳的方法,其特征是先將光 刻膠涂敷在經(jīng)前處理后欲施鍍的硅片表面,甩膠,前烘(用電吹 風(fēng)吹干),掩模光刻,太陽光下爆光,再置于丁酮溶液中顯影, 在紅外燈下烘烤堅膜,然后置于預(yù)先配制好的化學(xué)鍍鎳液中施鍍, 施鍍條件為PH值8.5-9.5,溫度83-87℃,時間6-8分鐘,然后 取出硅片置氮氣氛中250℃烘烤30分鐘。再置于等離子去膠機中 除掉光刻膠然后浸錫。。更多數(shù)據(jù):www.macrodatas.cn 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】吉林省長春市斯大林大街109號 【統(tǒng)一社會信用代碼】121000006051000987 【家族被引證次數(shù)】5.0

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